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Ulvac DA-81S 단상 다이어프램 진공 펌프: 배기 속도 (L/min): 75/85 (50/60Hz) 최종 압력 (Pa): 13300 모터: 단상, 100V, 200W, 4P 중량: 10.3 Kg 주위 온도: 0-40 ℃ 용도: